招標公告
1. 招標條件
本招標項目氧化膜CMP設備招標人為中國電子科技集團公司第二十四研究所，招標項目資金來自國撥資金，出資比例為100%。該項目已具備招標條件，現對氧化膜CMP設備進行國內公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20250429A005
2.2 招標項目名稱：氧化膜CMP設備 。
2.3 數量：1臺。
2.4 主要功能要求：該設備為國產全新8寸氧化膜CMP設備，自帶SMIF（或同類裝置），RFID及EAP通訊功能，配置四研磨頭，三或四研磨臺設計，具備CMP、HF&氨水&雙氧水清洗、甩干等功能，可用于氧化膜和多晶硅CMP。
2.5 交貨地點：重慶沙坪壩西永微電園西永大道23號中國電子科技集團公司第二十四研究所項目現場。
2.6 交貨期：合同生效后120天。
3. 投標人資格要求
3.1投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。
微信訂閱數據
ICP備08001231號